光學(xué)微電子凈化工程-潔凈車(chē)間技術(shù)解決方案

光學(xué)微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給于特別設(shè)計(jì)之密閉空間。

光學(xué)微電子凈化工程亦名無(wú)塵室或清凈室，已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線(xiàn)路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)*的重要設(shè)施。近幾年來(lái)，由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展，對(duì)于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為世界各國(guó)在科技發(fā)展上極為重視的項(xiàng)目，而我公司的設(shè)計(jì)理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于*地位。

光學(xué)微電子凈化工程一般包括：

1、 潔凈生產(chǎn)區(qū)

2、 潔凈輔助間（包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等）

3、 管理區(qū)（包括辦公、值班、管理和休息）

4、 設(shè)備區(qū)（包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房）

材料

1. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻 角、門(mén)、窗框等一般采用氧化鋁型材制造。

2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級(jí)耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。

3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。

4.高效送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。

光學(xué)微電子凈化工程解決方案:

凈化工程的設(shè)計(jì)過(guò)程中，應(yīng)加強(qiáng)對(duì)光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析了解,根據(jù)該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程，并結(jié)合其具體的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據(jù)該工程的具體情況，同時(shí)還要考慮到生產(chǎn)廠家的經(jīng)濟(jì)承受能力，綜合各種因素來(lái)確定采用何種凈化方案，這樣才可設(shè)計(jì)出一個(gè)能滿(mǎn)足甲方生產(chǎn)使用要求、工程造價(jià)合理、經(jīng)濟(jì)節(jié)能實(shí)用的方案。

1、組合式空氣處理機(jī)組+冷水機(jī)組+高效送風(fēng)口

這是一個(gè)zui傳統(tǒng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案。組合式空氣處理機(jī)組里含有各種功能段，如混合段、初效過(guò)濾段、表冷段、二次回風(fēng)段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過(guò)濾段、風(fēng)機(jī)段等。其冷源由冷水機(jī)組提供。

優(yōu)點(diǎn)：

A.空氣處理效果好，因空氣經(jīng)過(guò)集中處理，在送風(fēng)過(guò)程中被污染程度較低。送風(fēng)的溫度、濕度的控制比較精確;

B.比較適用于有集中冷源的或是較大的廠房;

C.空調(diào)冷熱源可與廠房普通空調(diào)系統(tǒng)合用或獨(dú)立冷熱源;

D.維修頻率較低;

E.車(chē)間的噪音低。

缺點(diǎn)：

A.需要有配套的冷凍機(jī)房或有放置熱泵機(jī)組的室外空間。另需要有放置組合式空氣處理機(jī)組的空調(diào)機(jī)房，如25000m3/h的組合式空氣處理機(jī)組，常用外形尺寸為6450×1850×2250mm左右。對(duì)于舊廠房改造項(xiàng)目來(lái)說(shuō)比較困難空出一個(gè)20-30┫的機(jī)房的;

B.造價(jià)高。

特點(diǎn)：

A.建議新風(fēng)經(jīng)過(guò)集中處理后再與回風(fēng)混合，這樣可以減少表冷段的冷處理負(fù)擔(dān);

B.這類(lèi)方案一般可以適用潔凈度較高的如百級(jí)、千級(jí)或萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)等較低的凈化無(wú)塵廠房。

光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析之水冷柜機(jī)+增壓風(fēng)柜+高效送風(fēng)口

與前種方案比較，這是相對(duì)比較簡(jiǎn)單的空調(diào)方案。它可以大大地縮小機(jī)房的面積，水冷柜機(jī)可以根據(jù)具體的情況布置于較小機(jī)房?jī)?nèi)或凈化車(chē)間內(nèi)，增壓風(fēng)柜也可以布置于機(jī)房?jī)?nèi)或吊在機(jī)房?jī)?nèi)或在夾層內(nèi)。

優(yōu)點(diǎn)：

A.空氣處理效果較好的，處理過(guò)后的空氣在送風(fēng)過(guò)程中被污染程度低。送風(fēng)的溫度、濕度控制效果可以達(dá)到較好的控制。主要在空氣處理機(jī)組(增壓風(fēng)柜)里進(jìn)行控制;

B.布置靈活。自帶冷源;

C.大小廠房、新舊廠房都適用;

D.維修頻率較低;

E.車(chē)間噪音低。

缺點(diǎn)：

A.需要小面積的機(jī)房。需要有冷卻塔、冷卻水泵的擺放位置;

B.空調(diào)機(jī)組與空調(diào)處理機(jī)組要集中布置;

C.造價(jià)較低。特點(diǎn)：這種方案可以是一次回風(fēng)也可以是二次回風(fēng)，具體根據(jù)車(chē)間的大小情況而定;這類(lèi)方案一般可以適用于潔凈度為千級(jí)、萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)等的凈化無(wú)塵廠房。

光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析之分體空調(diào)柜機(jī)++FFU送風(fēng)口

這是zui簡(jiǎn)易的一個(gè)空調(diào)方案。是直接將分體空調(diào)柜機(jī)布置于車(chē)間內(nèi)，并用彩鋼圍護(hù)起來(lái)，在柜機(jī)回風(fēng)口處再在彩鋼板上開(kāi)回風(fēng)口(帶初效過(guò)濾網(wǎng));KLC風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個(gè)方案適用于對(duì)室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無(wú)塵車(chē)間。

優(yōu)點(diǎn)：

A.不需要占用機(jī)房面積，布置很靈活的;

B.可以滿(mǎn)足空氣的潔凈度;

C.造價(jià)zui低。如此類(lèi)無(wú)塵車(chē)間初投資約需要40萬(wàn);

D.送風(fēng)均勻度好。

缺點(diǎn)：

A.溫濕度控制較差;

B.可以滿(mǎn)足空氣的潔凈度;

C.FFU的維修頻率高。

光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析之無(wú)塵車(chē)間的特點(diǎn)

A、無(wú)塵車(chē)間

潔凈度:

LCD制屏的簡(jiǎn)略流程為：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線(xiàn)和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。

在本設(shè)計(jì)里是指末端工藝的一些無(wú)塵車(chē)間，其凈化潔凈度一般為千級(jí)或萬(wàn)級(jí)或十萬(wàn)級(jí)。背光屏類(lèi)無(wú)塵車(chē)間主要是這類(lèi)產(chǎn)品的沖壓車(chē)間、組裝等無(wú)塵車(chē)間，其潔凈度一般為萬(wàn)級(jí)或十萬(wàn)級(jí)。

B、室內(nèi)空氣參數(shù)要求 ：

(1)溫濕度要求：溫度一般為24+2℃，相對(duì)濕度為55+5%。

(2)新風(fēng)量大。由于這類(lèi)車(chē)間內(nèi)，人員比較多，可以根據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的zui大值：非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10-30%;補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮 空氣量≥40m3/h。

(3)送風(fēng)量大。為了滿(mǎn)足潔凈室內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡，需要較大的送風(fēng)量，就300平方米的車(chē)間，吊頂高度為2.5米的，如果是萬(wàn)級(jí)，送風(fēng)量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù)，是≥25次/h);如果是十萬(wàn)級(jí)，送風(fēng)量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù)，是≥15次/h)。

光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析

對(duì)于常規(guī)電子廠房潔凈室空調(diào)的設(shè)計(jì)，應(yīng)根據(jù)電子廠房的生產(chǎn)工藝要求及甲方的經(jīng)濟(jì)條件來(lái)選用哪種空調(diào)設(shè)計(jì)方案，以滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝的要求作為前提。根據(jù)以往經(jīng)驗(yàn)，對(duì)于要求高的可以選用組合式空氣處理機(jī)組集中處理的空調(diào)方案;對(duì)于要求不高的，又要初投資低的，可以選用柜機(jī)+FFU?？傊唧w的方案選擇根據(jù)具體情況而定。

光學(xué)微電子凈化工程設(shè)計(jì)裝修認(rèn)準(zhǔn)廣州沃霖

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